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突发!国内一晶圆厂发生爆炸事故

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发表于 2022-1-9 15:23:20 | 显示全部楼层 |阅读模式
突发!国内一晶圆厂发生爆炸事故

芯鲜事 2022-01-08 16:31
关键字:晶圆厂

据国内媒体报道,1月7日中午,华虹三厂发生电站爆炸事故,导致该工厂停工3个小时。

不过,当天晚间,该工厂配电站设备已经完成抢修,并且顺利复工。


截至目前,华虹方面尚未对此进行正式回应。

但是,有业内人士透露,此次事故是由于华虹三厂配电站变压器短路导致的爆炸,由于华虹三厂与华虹五厂是共用配电站,所以此次事故也使华虹五厂受到了断电影响。


据了解,一般晶圆厂都会配有UPS备用电源以及柴油发电机,即便突发断电,UPS通常也能支撑十多分钟,而这段时间应该足够启用备用发电机进行供电。

但上述业内人士称,“华虹三厂的机台全都出现了停机,而华虹五厂的光刻机的UPS也没有抗住,目前华虹五厂与华虹三厂尚未完成复机。”


根据公开资料显示,华虹三厂位于上海张江基地,是上海华虹宏力半导体制造有限公司运营的一座8英寸晶圆厂,其最先进工艺为90nm。华虹三厂于2000年启动建设、2003年建成投产,其在2020年财报中公布的8英寸晶圆月产能为5.3万片。

另外,华虹五厂也位于上海张江基地,是中国大陆第一条全自动化智能派工生产线,也是华虹集团第一条12英寸半导体代工生产线,其工艺节点为55nm至28nm,目前月产能约为4.5万片。

由于目前全球芯片产能持续紧张,8英寸产能尤为稀缺,因此有网友猜测,此次爆炸或与华虹三厂满负荷运营有关。该工厂停工3个小时,或在一定程度上导致订单交期延迟,同时还可能造成大批量晶圆报废。

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